一,光刻气体,半导体制造的“血液”
很多人对于半导体气体缺乏认识
光刻气是光刻机产生深紫外激光的气体,在腔体内受高压激发后,由于电子跃迁,产生了一定波长的光,不同的光刻气和电压可产生不同波长的光,经过聚合、滤波处理后便形成光刻机的光源,这直接决定了光刻机的分辨率范围。
光刻气大多为混合气,用不同比例的不同气体混合在一起的电子气体混合物。
光刻气根据光刻光源波长的不同而不同。常见光刻气包含Ar/F/Ne混合气,、Kr/Ne 混合气、Ar/Ne 混合气、Kr/F/Ne混合气,Ar/Xe/Ne混合气等等。
光刻气大部分为稀有气体,或稀有气体和氟的混合物,这种混合气体在高压受激发后,就会形成等离子体,在这个过程中,由于电子跃迁,会产生固定波长的光线。
据亿渡数据测算,我国电子特气市场规模超400亿元,每年增速近20%。
半导体光刻工艺流程:
根据SEMI的数据
从产业链角度来看
是全球半导体特种气体主要供应地
三,电子气体全球市场份额
之前大家的焦点一直在半导体光刻机
上图是国内外特种气体的基本情况
右图是国际特气巨头在国内的份额
四,国内半导体气体的龙头供应商
由于我们今天主要研究特种气体在半导体行业的应用
上图中我们可以看到,国内半导体气体行业企业能打入主流市场的就这么几家
华特气体的主要客户包括中芯国际
华特气体和雅克科技主要是供应于国内晶圆厂商的
3,主要电子气体布局
从经营分析上来看
从经营分析上我们也能看到
从经营分析中我们可以看出
(4)雅克科技
从经营分析中我们也能看出来
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