上海微电子产业链相关目标
1)参股上海微电子:
张江高科技：上海张江浩成风险投资有限公司通过全资子公司持有上海微电子14.21%的股权。此外，公司的微装饰公司是中国唯一一家研发、生产和销售高端光刻机的企业，也是世界上第四家生产IC前光刻机的企业。在先进包装光刻机等领域，其国内市场份额超过80%，全球市场份额为40%。
东方明珠：通过上海泰力工业投资管理有限公司间接持有约2%的股权。
2)上海微电子供应商:
福晶技术：在光刻机部件中，KBBF晶体主要用于制造深紫外激光器，是深紫外激光器的高端应用市场。公司生产的KBBF晶体是光刻机的重要上游原料！KBBF晶体是国防和民用市场不可或缺的重要技术。
苏大维格：公司为上海微电子提供定位光栅产品，是公司光刻机产品的重要组成部分。
奥普光电：中国科学院院长光学研究所持有的公司42.4%的股权有望在国内高端光刻机上取得突破。中国开发的第一套EUV光刻原理装置实现了EUV光刻的原理连接。
火炬技术：间接供应光刻机巨头ASML。在光刻领域，公司为客户提供了光刻机曝光系统中的核心激光光学元件光场匀化器，是荷兰ASML光学设备核心供应商的重要供应商。
麦克迪奥:国望光学和科益虹源(国内第一，世界第三，供应上海微电子)都是亦庄的子公司。到目前为止，亦庄唯一控股的上市公司是麦克奥迪(稀缺性和独特性)。麦克奥迪主要从事光学镜头实锤供应光刻机。市场预计亦庄将在同一控制下重组企业:国望光学和科益虹源+麦克奥迪光刻机光学镜头供应商。
茂莱光学(688502)：我国茂莱光学DUV光学透镜已向上海微电子供应。
富创精密：富创精密：国内半导体设备零部件领先，是世界上为数不多的能为7纳米工艺半导体设备批量提供精密零部件的制造商之一。公司已进入全球领先的光刻机ASML供应链系统，并已进入上海微电子等国内半导体设备厂。
金力泰：上海金杜是上海微电子的合格供应商，为其产品零部件提供表面处理服务；
蓝英设备：公司控股子公司UCMAG为荷兰光刻机制造商ASML提供精密清洗解决方案。
海立股份:2021年10月26日，海立集团与上海微电子设备集团举行战略合作协议签约仪式。值得注意的是，海立集团和上海微电子属于上海电气集团。
梳理光刻机产业链
一、整机
1、上海微电子
$张江高科(SH600895)$：持有上海微电子10.779%的股份
上海电气：母公司是上海最大的微电子股东
2、长春光机所
奥普光电：长春光机是公司的实际控制人
二、部件
1、光源
波长光电：光刻机平行光源系统
福品科技:激光器上提供KBFF晶体，中国科学院旗下
茂莱光学：精密光学器件已应用于国内光刻机
2、光学器件
$苏大维格(SZ30031)$：定位光栅产品为上海微电子提供光刻机
火炬技术：在光刻机曝光系统中提供核心元件光场匀化器
腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链
京华激光：控股美国公司在光刻机微结构光学方面实力雄厚
3、空气净化
美埃科技:国外企业供应商白名单提供最高清洁等级标准的设备
4、物镜
$赛微电子(SZ300456)$：MEMS透镜零件供应商光刻机制造商
5、结构件
富创精密：A股半导体零部件收入规模第一，12.9亿元
新莱应材:半导体零部件A股收入规模第二，7.1亿
金力泰：超微弧氧化技术可用于光刻机设备零部件的表面处理。其子公司是上海的微电子供应商
电子数字：子公司可供应光刻机控制器
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