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目前,先进节点技术的发展速度略有放缓,国内半导体产业的发展和国产化需求为中国企业带来了发展机遇。

除了少数覆盖G/I光刻胶的公司外,中国企业在更高的光刻胶领域基本上处于客户验证甚至研发阶段,任重道远。目前,国内光刻胶企业大多分布在技术难度较低的PCB光刻胶领域,占90%以上,而技术难度最大的半导体光刻胶市场只有桐城新材料(北京科华)、华茂科技(徐州博康)、南大光电、晶瑞电材、上海新阳等少数家庭。光刻胶产业链上下游布局相关公司众多,代表厂家还包括雅克科技、永泰科技、江化微、鑫源微、多彩化工、万润股份、华特气体、新莱应材、盛剑环境、鼎龙股份、益达股份、广信材料、8亿时空、晶瑞电材、聚光科技、飞凯材料、晶方科技、百川股份等。

雅克科技:是市值最大的光刻胶上市公司,先后合并了华飞电子、江苏先科、成都科美特和半导体材料资源公司。子公司还收购了LG化学旗下的彩色光刻胶资产,获得了彩色光刻胶的关键技术,填补了国内技术空白。

南大光电:公司始终坚持从原材料到产品的完全自主化。宁波南大光电光刻胶研发中心控股子公司具有开发功能单体、功能树脂、光敏剂等光刻胶材料的能力,可实现从光刻胶原料到光刻胶产品及配套材料的全部自主化。目前开发的三款ArF光刻胶产品已通过下游客户认证并实现销售,多种产品正在主要客户处进行认证。

格林达:国内首套光刻胶显影液生产线成功开发,打破了国外技术垄断。TMAH显影液是目前最常见、性能最好的显影液,取代无机碱(KOH/NAOH)广泛应用于IC、显示面板、光电等行业。

晶瑞电子材料:是中国最早进入微电子化学品生产领域的企业之一。其光刻胶业务的历史可以追溯到1976年苏州中学光刻胶研发办公室,是中国最早开发光刻胶的团队之一。该公司的产品线涵盖了各种类型的光刻胶,包括紫外线(UV)光刻胶、电子束光刻胶、深紫外线刻胶等。

桐城新材料:2024年,部分ArF/ArFi光刻胶产品通过国内芯片厂验证,获得大规模生产订单,并开始批量供应。

国内先进的光刻机相关企业

【1】张江高科(600895):2023年9月1日互动易:公司通过子公司上海张江浩成风险投资有限公司投资

[2]蓝英设备(300293):2021年12月10日,投资者关系记录表:公司精密清洗设备面向的高端芯片制造业企业客户包括光刻机制造业企业的合资企业(参股)公司,负责光刻机核心光学系统的制造。

【3】国林科技(300786)有光刻机和光刻胶的概念:2023年9月14日互动易回复:子公司国林半导体臭氧设备产品自2022年下半年以来已在半导体、面板、科研等行业陆续发货验证。本产品用于化学气相沉积(CVD)、原子层薄膜沉积(ALD)、在去除晶圆清洗、污染物和光刻胶的过程中。

【4】2023年5月23日,茂莱光学(688502)光刻机和光刻胶的概念互动,易于回复:公司为光刻机光学系统提供光学器件、投影物镜,用于均匀光和中继照明模块,以及工件台位移测量系统的棱镜组件,是光刻机实现光均匀性和曝光成像的关键模块。

[5]聚光技术(688167)光刻机和光刻胶概念:2023年3月20日互动易于回复:公司多年来提供核心激光光学元件光场匀化器(招股说明书“光场匀化器-光刻应用”),提供世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机制造商的核心设备。同时,公司在这一领域与国内研发单位进行了广泛的合作,公司的光场匀化器产品应用于国内主要的光刻机研发项目和样机。

[6]苏大维格(300331):主要业务包括光刻机设备的研发、生产和销售,并提供相关的技术服务。其核心优势在于技术积累深厚,行业经验丰富,市场声誉良好。

[7]奥普光电(00238):公司大股东长春光学研究所致力于开发更高水平的光刻机曝光系统;根据2023年3月15日互动回复:子公司余恒光学高端光栅编码器填补国内空白,达到国际同类产品先进水平,解决高端位移传感器领域国家颈部问题,为国内替代、独立控制做出应有的贡献。

[8]安泰科技(000969):钨合金用于某一型号的光刻机设备,是该型号光刻机的关键核心部件。

【9】华亚智能(003043):2023年9月11日互动易回复:公司是ASML的间接供应商,为直接客户提供少量用于光刻机设备的精密金属结构件产品。

【10】同飞股份(300990): 2023年半年报:公司液体恒温设备主要用于半导体制造设备领域的光刻机、刻蚀机PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。

【11】旭光电子(600353): 2023年11月7日,互动易回复:公司半导体设备领域的发射管产品,如光刻机、等离子体清洗/抛光,已得到客户的验证和批量销售。

【12】凯美特气(002549)光刻机和光刻胶的概念包括:根据2023年3月5日互动易回复:公司电子特气项目生产芯片所需的超高纯气体和光刻气产品质量高,已通过多家国际龙头企业的相关认证或审核,并与多家龙头企业建立合作,客户认可度高。

【13】新莱应材(300260)光刻机和光刻胶的概念在2021年6月22日互动方便:光刻机的相关工艺需要在超高真空和特殊气体的条件下完成。公司真空产品的Advantor品牌和气体产品的NanoPure品牌可应用于光刻机设备,公司客户已包括光刻机设备制造商。

京华激光(603607) 2023年4月17日互动易回复:公司控股的菲涅尔制版科技有限公司是一家从事微结构光学技术研发及相关设备制造维护多年的企业,在微结构光学方面具有较强的研发实力,尤其是全息光学、菲涅尔猫眼、水晶微结构、浅纹微结构、铂金浮雕等方面。先后开发了一批技术先进、性能突出、与光学制版相关的光刻机设备,并在全球独家供应公司使用。

[15]海利股份(600619)根据公司官方网站:海利集团和微电子设备集团就项目合作和产品配套设施进行了深入讨论。双方从包装光刻机冷却系统配套设施入手,进一步提高合作水平,逐步从零部件级供应合作升级为系统级供应合作。

波长光电(301421)光刻机和光刻胶的概念有: 2023年8月25日互动易回复:在半导体应用领域,公司有能力提供配套的大孔径光学镜头。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国内光刻机领域的配套设施,并已交付多个系统用于接近掩膜芯片光刻工艺。 2023年8月25日互动易回复:在半导体应用领域,公司有能力提供配套的大孔径光学镜头。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国内光刻机领域的配套设施,并已交付多套系统用于近距离掩膜芯片的光刻工艺。

[17]晶方科技(603005)光刻机和光刻胶的概念在2022年7月17日互动:公司下属荷兰ANTERYON公司为国际领先的光刻机制造商服务,部分产品用于光刻机部件。荷兰Anteryon的主要客户之一是荷兰光刻机制造商ASML。Anteryon是一家具有混合镜头、晶圆级微型光学器件技术设计、特性材料和大规模生产能力的技术创新公司。其产品可广泛应用于以半导体精密设备、工业自动化、汽车、安全、3D传感器为代表的消费电子等应用领域。

【18】腾景科技(688185)有光刻机和光刻胶的概念 2023年半年报:公司合分束器项目应用于光刻机光学系统,可满足国内替代进口的需要。

【19】久日新材料(688199)光刻机和光刻胶的概念有2021年9月6日投资者互动记录:子公司大晶信息的有光刻机溶剂产能600吨。2020年6月2日,公司在互动平台上表示,公司正在研发阳离子和光敏剂项目,预计总投资规模为9.5万元。截至2019年12月31日,累计投资4.568、996.17元,其中阳离子光引发剂已完成小试验和中试,光刻胶光敏剂小试验开发;

【20】芯碁微装(688630)光刻机和光刻胶的概念在2023年9月5日互动:在光刻机制版领域,目前主流工艺在100-400nm工艺范围内,公司将尽快推出90nm节点制版所需的光刻设备,以满足半导体掩膜技术的更新迭代;公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备、直写光刻设备的研发、制造、销售及相应的维护服务,主要产品和服务包括PCB直接成像设备和自动线系统、泛半导体直写光刻设备和自动线系统、其他激光直接成像设备和上述产品的售后维护服务。

国内先进的光刻胶材料企业

【1】国林科技(300786)有光刻机和光刻胶的概念:2021年8月27日调研活动信息:公司的装置需要在光刻胶清洗过程中使用。

【2】新莱应材(300260)光刻机和光刻胶的概念包括:光刻机的相关工艺需要在超高真空和特殊气体的条件下完成,公司真空产品的Advantorr品牌和气体产品的NanoPure品牌可应用于光刻机设备,公司客户已包括光刻机设备的制造商。

【3】2020年4月10日,扬帆新材料(300637)互动平台显示,公司内蒙古基地筹资项目的主要光引发剂品种包括TPO、184、1173、BDK等。公司下游部分光引发剂产品可应用于光刻胶等相关领域。

[4]晶瑞电子材料(300655)公司是一家专业从事微电子化学品产品研发、生产和销售的高新技术企业。主要产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能材料、锂电池材料和基础化学材料;

[5]荣达光感(300576)作为中国领先的光感电子化学材料供应商,其主要业务包括光刻胶及配套化学品的研发、生产和销售。其产品主要包括紫外正胶、紫外负胶及相关配套化学品,广泛应用于平板显示、发光二极管、集成电路等领域。其核心优势在于研发实力强、产品体系完善、客户合作关系良好。

[6]根据公司招股说明书:公司以光刻胶配套试剂为切入点,成功实现下游包装厂家附着力促进剂、显影液、去除剂、蚀刻液等产品的大规模供应。同时,发行人积极开展光刻胶的研发。目前,公司已开发了自己的先进包装用途 g/i 线负光刻胶已通过长电科技和华天科技认证,实现批量供应。

【7】为拓展业务范围和产品应用领域,上海新阳(300236)有限公司投资成立控股子公司上海芯刻微材料科技有限公司193nm(ArF)研发干法光刻胶及产业化项目。

【8】 飞凯材料(300398):主要业务包括光刻胶产品的研发、生产和销售。其产品广泛应用于LED、TFT-LCD、PCB制造和屏幕显示制造已逐渐扩展到半导体制造和OLED材料领域。其核心优势在于丰富的产品线和广泛的应用领域,以及持续的技术创新和市场扩张能力。

[9]民族激光(002008)光刻机和光刻胶的概念包括:作为国内激光设备行业的领先企业,主要业务包括激光标记、激光切割、激光焊接等设备的研发、生产和销售。在光刻机领域,民族激光也具有一定的技术实力和市场地位。其核心优势在于领先的激光技术、丰富的产品线和广泛的应用领域。

【10】 华茂科技(603306)的主要业务包括电子化学品的研发、生产和销售,其产品包括光刻胶和配套试剂。华茂科技在光刻机领域具有一定的市场份额和竞争力。其核心优势在于专业的研发团队、高效的生产能力和高质量的客户服务。

[11]华特气体(688268)光刻机和光刻胶的概念包括:特种气体的研发、生产和销售,其产品广泛应用于半导体、显示面板等领域。华特气体提供的气体产品在光刻机领域也发挥着重要作用。其核心优势在于产品质量高,供应能力稳定,客户关系良好。2020年2月27日互动易:公司是中国第一家用于集成电路等离子蚀刻的高纯六氟乙烷,中国第一家用于光刻机的光刻气系列产品,市场份额超过50%。公司的光刻气产品包括A/F/Ne、G/e、 Ar/Ne和K/任F/Ne混合气等。,四种光刻气是中国唯一的供应商﹐ASML产品认证是世界上最大的光刻机公司。

【12】安达智能(688125)主营业务涵盖智能制造设备的研发、生产和销售,其产品可应用于光刻机等领域。安达智能在智能制造领域有一定的技术积累和市场份额。其核心优势在于先进的制造技术、灵活的生产线和定制的服务能力。2022年半年报:公司Asher/除胶(单腔)项目实现自动取料送料,半导体前后段自动去除各种光刻胶。目前,该项目已进入客户验证阶段。

【13】雅克科技(002409):通过收购LG,子公司斯洋国际有限公司 CHEM的部分彩色光刻胶业务资产进一步扩大了公司的业务范围。

【14】同益股(300538):公司专注于不同领域的光刻胶研发、生产和销售,包括平板显示、发光二极管、集成电路等。公司涉及的光刻胶业务主要从韩国引进丙烯酸树脂KISCO 光引发剂、DKC 主要用于光敏剂、色浆等产品 LCD-TFT 中高端市场,如正性光刻胶。

[15]赛微电子(300456)有光刻机和光刻胶的概念:2020年5月30日互动平台回复:公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发和晶圆制造服务。2023年9月14日互动:公司一直为全球光刻机巨头制造商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发和晶圆制造服务,一直是公司工艺门槛高的优势业务;

【16】广信材料(300537)根据2023年3月4日互动易回复:PCB光刻胶作为公司的主要产品,2021年销售收入约3.55亿元,占57.34%,2022年上半年销售收入约1.57亿元。收入占54.17%;公司微电子材料事业部开发的TP、TN/STN-在LCD光刻胶等FPD光刻胶产品的正常生产和销售中,目前收入相对较小,正在进一步促进市场发展。

【17】芯源微(688037)产品包括光刻工艺涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片湿法设备(清洗机、脱胶机、湿法蚀刻机)。

【18】强力新材料(300429)公司不生产光刻胶,主要从事电子材料领域各种光刻胶专用电子化学品(分为光引发剂和树脂)的研发、生产和销售及相关贸易业务。

【19】江化微(603078)公司主要从事超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等湿电子化学品的研发、生产和销售。

【20】岱勒新材料(300700)公司2023年11月6日调研公告:公司控股子公司岱华科技开发了清洗剂、剥膜液、显影液、蚀刻液等光刻胶配套试剂产品。除蚀刻液和显影液外,其他产品已提供客户试验验证,公司也在积极推广相关产品的市场应用。

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