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中国光刻机上市公司有哪些?
中国光刻机上市公司有智光电气、飞凯材料、南大光电和蓝英装备。光刻机，英文名Mask Aligner，又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，是制造芯片的核心装备，主要厂商有ASML、尼康、佳能、欧泰克、上海微电子装备、SUSS、ABM Inc。
国内光刻机上市企业简介
一、智光电气(002169)
智光电气主要从事电网安全与控制设备、电机控制与节能设备、供用电控制与自动化设备及电力信息化系统研发、设计、生产和销售。公司已建立了以测控技术、电力电子技术、通信技术和应用软件技术为基础的核心技术平台，形成了面向电气控制与自动化前沿领域的产品布局。
二、飞凯材料(300398)
公司成立于2002年，总部和研发中心位于上海市宝山，在安徽省安庆市、广东省惠州市、江苏省南京市均建有大规模生产基地;并在杭州、苏州、深圳、台湾高雄，以及美国旧金山、亚特兰大、日本、韩国首尔、印度班加罗尔等地设有办事机构或联络点，构成了以上海为中心的国内外销售服务网络。
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