ASML(荷兰光刻机制造商阿斯麦)供应商

一、ASML(荷兰光刻机制造商阿斯麦)供应商

1、蓝英装备：光刻机零件。公司瑞士子公司UCM AG主要为光学和精密仪器行业提供清洁设备。对于精密光学、医学工程、精密机械和PVD、CVD 在典型的清洁度要求最高的应用领域，如涂层前清洁，公司可以为精密清洁业务板块的代表性产品UCM系统提供全套个性化的设备和解决方案。凭借行业领先的技术实力，UCM AG为ASML(荷兰光刻机制造商阿斯麦)及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）光学系统相关关键部件的清洗设备。

2、晶方科技光刻胶2020年6月11日互动平台回复:荷兰Anteryon公司的主要客户之一是荷兰光刻机制造商ASML。

3、2020年6月11日，景旺电子光刻胶互动平台回复：公司产品已供应给ASML公司。

4、2020年5月30日，赛微电子光刻胶互动平台回复:公司一直为全球光刻机巨头制造商提供透镜系统MEMS部件的技术开发和晶圆制造服务。

5、2020年4月24日，福晶科技光刻胶公司在互动平台上表示，该公司通过欧洲代理商和ASML签署了保密协议，并提供了一些产品。

二、与国内拥有ASML的企业有关的公司:

1、桐城新材4光刻胶公司全资子公司桐城电子于2020年7月2日完成了科华微电子33.70%股权的相关工商变更登记。北京科华微电子成立于2004年8月，是中国唯一拥有荷兰ASML曝光器的光刻胶公司。是集光刻胶研发、生产、检测、销售为一体的中外合资企业，也是中国唯一拥有高端光刻胶自主研发和生产实力的国家高新技术企业。

2、与ASML光刻机有关的高盟新材料光刻胶及公司

2019年11月8日，公司在互动平台上表示，公司参与的科华微电子公司是中国拥有并正常使用荷兰ASML光刻机的光刻胶公司。

三、与国内先进光刻机相关的公司:

1、奥普光电2光刻胶

互动平台于2020年5月31日回复：公司大股东长春光机研究所正在开发更高层次的光刻机曝光系统。

2、张江高科技光刻胶

全资子公司张江浩成此次向微装公司投资人民币 223,450,000 投资完成后，张江浩成将持有微装公司 10.779%的股权。微装饰公司是中国唯一一家研发、生产和销售高端光刻机的企业，也是世界上第四家生产IC前光刻机的企业。微装公司拥有1442项发明专利，是国内工业4.0、典型代表先进制造和智能制造。微装公司在先进包装光刻机等领域的国内市场份额超过80%，全球市场份额超过40%。

3、2020年6月3日，安泰科技光刻胶公司在互动平台上表示，该公司的钨合金产品用于某种类型的光刻机设备，是该类型光刻机的关键核心部件，仍处于市场发展阶段。

4、苏大维格光刻胶2019年年度报告披露：公司是国内领先的微结构产品制造和技术服务提供商，通过微光学关键制造设备的独立研发，建立了微光学研发和生产制造基本技术平台体系，为客户提供不同用途的微光学产品设计、开发和制造服务。

四、国内先进的光刻胶材料公司：

1、雅克科技光刻胶2020年2月26日宣布，子公司斯洋国际有限公司及 LG CHEM, LTD.（LG 化学)签订《业务转让协议》，以580亿韩元(相当于3.35亿元人民币)的价格购买其下属彩色光刻胶事业部的部分经营资产，标的资产主要包括部分与彩色光刻胶业务相关的生产机械设备、库存、知识产权无形资产、经营应收账款等。

2、为扩大业务范围和产品应用领域，上海新阳光刻胶公司投资成立控股子公司，上海新阳光刻胶技术有限公司投资193nm（ArF）研发干法光刻胶及产业化项目。

3、晶瑞光刻胶有限公司是一家专业从事微电子化学品产品研发、生产和销售的高新技术企业。主要产品包括超净高纯试剂、光刻胶、功能材料、锂电池材料和基础化工材料。

4、荣达光刻胶公司的光刻胶产品主要包括两类产品：紫外线正胶和紫外线负胶，以及稀释剂、显影液和剥离液等配套化学品。主要用于平板显示器、发光二极管和集成电路。

5、南大光电光刻胶公司正在自主创新和产业化 国家已获得193nm光刻胶工程 02 专项“ 193nm光刻胶及配套材料关键技术研究项目 ArF光刻胶开发及产业化项目正式立项，先后获得财政补贴1501.65万元，地方配套设施 5,000 万元。目前，“193nm光刻胶及配套材料关键技术研究项目”的研发工作已完成，正在等待验收。

6、2020年4月11日，公司在互动平台上表示，公司作为中高端化工和电子材料一体化解决方案提供商，先后从韩国引进丙烯酸树脂、KISCO光引发剂、DKC光敏剂、色浆等产品，主要用于LCD-TFT正性光刻胶、芯片及半导体行业I/g/h线光刻胶等中高端市场。

五、科技创新板光刻机公司：

1、根据光刻胶下游的不同应用领域，公司的光刻胶去除剂包括集成电路制造、晶圆级封装、LED/OLED等系列产品。公司产品光刻胶去除剂是用于去除图形化工艺光刻胶残留物的高端湿化学品。光刻胶去除剂一般由去除剂、溶剂、螯合剂组成 缓蚀剂的关键是去除剂和溶剂的选择，从而去除优秀的交联光刻胶聚合物；螯合剂和缓蚀剂等添加剂提供金属和非金属基材的分子和原子保护，并选择性地去除光刻胶残留物。光刻胶去除剂的核心技术包括光阻清洗中的金属防腐技术和光刻胶残留物去除技术。

2、华特气体光刻胶公司的光刻气产品包括A/F/Ne、G/e、 Ar/Ne和K/任F/Ne混合气等。，四种光刻气是中国唯一的供应商﹐ASML产品认证是世界上最大的光刻机公司。

3、2020年6月2日，公司在互动平台上表示，公司正在研发阳离子和光敏剂项目，预计总投资规模为9.5万元。截至2019年12月31日，已累计投资4.568、996.17元，其中阳离子光引发剂已完成小试验和中试，光刻胶光敏剂正在小试验开发中。

4、芯源微光刻胶产品包括光刻工艺涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)。

六、泛光刻概念：

1、普利特1光刻胶公司控股子公司上海普利特持有25%的理硕科技股权。理硕科技位于江苏省苏州工业园苏州纳米城。是一家从事平板显示器和半导体芯片光刻胶和光刻工艺材料研发生产的高科技企业。基于中国，企业致力于先端光刻技术的研发，为中国平板显示器和半导体芯片制造商定制和开发各种高端电子化学品。

2、江化微1光刻胶公司的主营业务是研发、生产和销售超净高纯试剂、光刻胶配套试剂等湿电子化学品。

3、飞凯材料光刻胶公司的光刻胶产品主要目标应用于TFT-LCD行业，产品性能满足行业应用需求

4、2020年4月27日，万润光刻胶互动平台表示，公司积极布局电子化学品领域的聚酰亚胺材料和光刻胶单体材料，进一步丰富公司信息材料行业产品线，为未来发展积累动能。公司已销售聚酰亚胺材料和光刻胶单体材料相关产品，相关业务仍处于扩张初期，对公司业绩没有重大影响。

5、广信材料光刻胶公司在互动平台上回复说，公司光刻胶项目的研发正在进行中，有一些研发成果

6、益达光刻胶公司将开发成膜添加剂，替代光刻胶中的致癌物苯乙烯，以降低硬度、脆性和褪膜颗粒，提高光刻胶的分辨率。

7、2020年6月9日，金力泰光刻胶互动平台回复:超微弧氧化技术可应用于光刻机设备部件的表面处理和其他半导体芯片集成电路的表面处理。

8、2020年4月10日，扬帆新材料光刻胶互动平台显示，内蒙古基地筹资项目的主要光引发剂品种包括TPO、184、1173、BDK等。公司下游部分光引发剂产品可应用于光刻胶等相关领域。

9、2019年3月13日，宝通科技光刻胶公司互动平台披露，宝通陈涛投资博燕电子。公司是一家研发和生产光阻的制造商。主要产品为光阻黑矩阵光阻和彩色滤光片感光间隙材料。产品广泛应用于液晶显示屏、印刷电路、集成电路和印刷制版。公司凭借雄厚的科研实力，不断开发技术创新战略，突破了当地制造的长期技术瓶颈，成功开发了一系列光刻胶产品。

10、2019年7月26日，捷捷微电光刻胶互动平台回复公司拥有“高粘度光刻胶无胶丝均胶装置”专利，子公司捷捷半导体拥有“一套光刻胶残胶收集装置”。

11、永泰科技光刻胶电子化学品：永泰新材料年产1500吨CF光刻胶项目已进入项目验收阶段。公司年产60吨OLED电子材料建设项目正在稳步推进，平板显示领域布局不断增加。

12、2018年，公司的主要业务产品仍以光刻胶专用化学品为主，分为光刻胶引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂等）和光刻胶树脂两个系列。

13、2019年9月25日，光华科技光刻胶公司在互动平台上表示，其子公司正常生产和销售光刻胶。

14、2020年6月12日，京华激光刻胶公司在互动平台上表示，该公司控股公司美国菲涅尔制版科技公司有光刻机的研发和销售。

15、2020年6月17日，该公司在互动平台上表示，该公司在研光刻机项目中的分辨率为3-5μm，主要集中在分离器件、LED等领域的应用，预计今年将实现小批量销售。